ローツェ、検査機器メーカーを子会社化 半導体向け装置開発・販売で連携 - 47NEWS

中国新聞. 半導体製造装置メーカーのローツェ（広島県福山市）は3月、半導体の検査装置を造るイアス（東京）を子会社にする。半導体の製造工程で不純物の関連キーワードはありません